详细说明
净化工½E‹æ˜¯æŒ‡æŽ§åˆ¶äñ”å“?(如硅芯片½{? 所接触大气的æ´å‡€åº¦åŠæ¸©æ¹¿åº¦ï¼Œä½¿äñ”å“能在一个良好的环境½Iºé—´ä¸ç”Ÿäº§ã€åˆ¶é€ 。æ¤çŽ¯å¢ƒ½Iºé—´çš„设计施工过½E‹å³å¯ç§°ä¸ºå‡€åŒ–å·¥½E‹ã€?br />
乱测z净�br />
乱测z净室的主è¦ç‰¹ç‚¹æ˜¯ä»Žæ¥æµåˆ°å‡º‹¹ï¼ˆä»Žé€é£Žå£åˆ°å›žé£Žå£ï¼‰ä¹‹é—´æ°”æµçš„æµé€šæˆªé¢æ˜¯å˜åŒ–的,‹zå‡€å®¤æˆªé¢æ¯”é€é£Žå£æˆªé¢å¤§å¾—多åQŒå› 而ä¸èƒ½åœ¨å…¨å®¤æˆªé¢æˆ–者在全室工作区截é¢åÅžæˆåŒ€é€Ÿæ°”‹¹ã€‚所以,é€é£Žå£ä»¥åŽçš„‹¹çº¿å½¼æ¤æœ‰å¾ˆå¤§æˆ–者越æ¥è¶Šå¤§çš„夹角åQŒæ›²çއåŠå¾„很ž®ï¼Œæ°”æµåœ¨å®¤å†…ä¸å¯èƒ½ä»¥å•一方呋¹åЍåQŒå°†ä¼šå½¼æ¤æ’žå‡»ï¼Œž®†æœ‰å›žæµã€æ—‹æ¶¡äñ”生。这ž®±å†³å®šäØ•‹¹æ´å‡€å®¤çš„‹¹æ€å®žè´¨æ˜¯åQšçªå˜æµåQ›éžå‡åŒ€‹¹ã€?br />
˜q™æ¯”用紊‹¹æ¥æè¿°ä¹±æµ‹z净室更¼‹®åˆ‡ã€æ›´å…¨é¢ã€‚ç´Š‹¹ä¸»è¦å†³å®šäºŽé›¯‚¯ºæ•ŽÍ¼Œä¹Ÿå°±æ˜¯ä¸»è¦å—‹¹é€Ÿçš„å½±å“åQŒä½†æ˜¯å¦‚果采用一个高效过滤器™å‰™€çš„é€é£Žå½¢å¼åQŒåˆ™å³ä‹É‹¹é€Ÿæžä½Žï¼Œä¹Ÿè¦äº§ç”Ÿä¸Šè¿°å„ç§¾l“æžœåQŒè¿™ž®±å› 为它是一个çªå˜æµå’Œéžå‡åŒ€‹¹ã€‚å› æ¤è¿™¿U情况下ä¸ä»…有æµå±‚ä¹‹é—´å› ç´Šæµ‹¹åŠ¨è€Œå‘ç”Ÿçš„æŽºæØœåQŒè€Œä¸”˜q˜æœ‰å…¨å®¤èŒƒå›´å†…的大的回æµã€æ—‹æ¶¡æ‰€å‘生的掺淗÷€?br />
å•å‘‹¹æ´å‡€å®?br />
å•å‘‹¹æ´å‡€å®¤ä¸€èˆ¬æœ‰ä¸¤ç§¾cÕdž‹åQŒå³æ°´åã^‹¹å’Œåž‚ç›´‹¹ã€‚在水åã^‹¹ç³»¾lŸä¸åQŒæ°”‹¹æ˜¯ä»Žä¸€é¢å¢™‹¹å‘å¦ä¸€é¢å¢™ã€‚在垂直‹¹ç³»¾lŸä¸åQŒæ°”‹¹æ˜¯ä»ŽåЙ嶿µå‘地é¢ã€‚å¯¹è¦æ±‚‹z净室的悬æÕQ¾_’勹“度或微生物‹¹“度更低的场åˆï¼Œž®×ƒ‹É用å•呿°”‹¹ã€‚以å‰ç§°˜q™ç±»‹zå‡€å®¤äØ“â€œå±‚‹¹â€æ´å‡€å®¤ã€‚å•呿µå’Œå±‚‹¹çš„åç§°å‡è¯´æ˜Žäº†å…¶æ°”‹¹çš„状况åQšæ°”‹¹ä»¥ä¸€ä¸ªæ–¹å‘æµåŠ¨ï¼ˆæˆ–æ˜¯åž‚ç›´çš„æˆ–æ˜¯æ°´òq³çš„åQ‰ï¼Œòq¶ä»¥ä¸€èˆ¬æ˜¯0.3¾c?¿U’至0.5¾c?¿U’(60英尺/分钟è‡?00英尺/分钟åQ‰çš„å‡é€Ÿæµ˜q‡æ•´ä¸ªç©ºé—´ã€‚由满布‹z净室劙å¶çš„高效˜q‡æ×o器å‘室内é€é£Žã€‚æ°”‹¹æœ‰å¦‚一个空气活塞,å‘下‹¹ç»å®¤å†…åQŒå¸¦èµ°æ±¡æŸ“物åQŒç„¶åŽä»Žåœ°é¢æŽ’出。åˆåœ¨ä¸Žå¤–éƒ¨çš„ä¸€äº›æ–°é²œç©ºæ°”æØœåˆåŽåQŒå†å¾ªçŽ¯è‡³é«˜æ•ˆè¿‡æ»¤å™¨ã€‚äh员和工艺所产生的悬‹¹®æ±¡æŸ“å¯ç«‹å³è¢«è¿™¿U空气清除掉åQŒè€Œç´Š‹¹é€šé£Ž¾pÈ»Ÿé‡‡ç”¨çš„æ˜¯æ··åˆä¸Žç¨€é‡ŠåŽŸç†ã€‚在一间没有ä“Q何障¼„物的空戉K—´åQŒå•呿µç”¨æ¯”å‰é¢æåˆ°çš„低得多的风速,ž®±å¯ä»¥å¾ˆå¿«å°†æ±¡æŸ“物清除。但在一个æ“作间åQŒæœºå™¨ä»¥åŠæœºå™¨å‘¨å›´èµ°åŠ¨çš„äººå‘˜åQŒä¼šå¯Òް”‹¹åÅžæˆéšœ¼„ã€‚éšœ¼„物å¯ä»¥ä½¿å•呿µå˜æˆç´ŠæµåQŒä»Žè€Œåœ¨éšœç¢ç‰©å‘¨å›´åÅžæˆæ°”‹¹å›¢ã€‚äh员的‹zÕdŠ¨ä¹Ÿå¯ä»¥ä‹Éå•å‘‹¹å˜æˆç´Š‹¹ã€‚在˜q™äº›ç´Šæµä¸ï¼Œç”׃ºŽé£Žé€Ÿè¾ƒä½Žï¼Œ½Iºæ°”½E€é‡Šç¨‹åº¦è¾ƒž®ï¼Œä»Žè€Œä‹Éå¾—æ±¡æŸ“æµ“åº¦è¾ƒé«˜ã€‚å› æ¤ï¼Œå¿…é¡»ž®†é£Žé€Ÿä¿æŒåœ¨0.3¾c?¿U’至0.5¾c?¿U’(60英尺/分钟è‡?00英尺/分钟åQ‰çš„èŒƒå›´é‡Œï¼Œä»¥ä¾¿ä½¿ä¸æ–çš„å•å‘‹¹èƒ½å¿«é€Ÿæ¢å¤ï¼Œå……分½E€é‡Šéšœ¼„ç‰©å‘¨å›´ç´ŠæµåŒºçš„æ±¡æŸ“。用风速å¯ä»¥æ£¼‹®åœ°è¡¨ç¤ºå‡ºå•呿µåQŒå› 为风速越高室内就‘Šæ´å‡€ã€‚而毞®æ—¶æ¢æ°”‹Æ¡æ•°ä¸Žæˆ¿é—´çš„体积有关åQŒå¦‚åŠé¡¶çš„é«˜ä½Žï¼Œå› æ¤ä¸é€‚åˆç”¨æ¥è¡¨ç¤ºå•å‘‹¹ã€‚å•呿µå®¤å†…çš„é€é£Žé‡æ˜¯ç´Šæµå®¤çš„很多å€ï¼ˆ10åˆ?00å€ï¼‰ã€?br />
控制¾~–辑
‹z净室ä¸çš„æ¸©æ¹¿åº¦æŽ§åˆ¶
‹z净½Iºé—´çš„æ¸©æ¹¿åº¦ä¸»è¦æ˜¯æ ¹æ®å·¥è‰ø™¦æ±‚楼‹®å®šåQŒä½†åœ¨æ»¡‘›_·¥è‰ø™¦æ±‚çš„æ¡äšg下,应考虑åˆîCh的舒适度感。éšç€½Iºæ°”‹zå‡€åº¦è¦æ±‚çš„æé«˜åQŒå‡ºçŽîCº†å·¥è‰ºå¯Òޏ©æ¹¿åº¦çš„è¦æ±‚也‘Šæ¥‘Šä¸¥çš„è¶‹åŠÑ€‚å…·ä½“å·¥è‰ºå¯¹æ¸©åº¦çš„è¦æ±‚以åŽè¿˜è¦åˆ—举,但作为æ€Èš„原则看,ç”׃ºŽåŠ å·¥¾_‘Öº¦‘Šæ¥‘Šç²¾¾l†ï¼Œæ‰€ä»¥å¯¹æ¸©åº¦æ³¢åŠ¨èŒƒå›´çš„è¦æ±‚è¶Šæ¥è¶Šž®ã€‚例如在大规模集æˆç”µè·¯ç”Ÿäº§çš„光刻æ›å…‰å·¥è‰ºä¸ï¼Œä½œäØ“æŽ©è†œæ¿ææ–™çš„çŽÈ’ƒä¸Žç¡…片的çƒè†¨èƒ€¾pÀL•°çš„å·®è¦æ±‚‘Šæ¥‘Šå°ã€‚ç›´å¾?00 um的硅片,温度上å‡1度,ž®±å¼•起了0.24um¾U¿æ€§è†¨èƒ€åQŒæ‰€ä»¥å¿…™åÀLœ‰ûu0.1åº¦çš„æ’æ¸©åQŒåŒæ—¶è¦æ±‚湿度å€ég¸€èˆ¬è¾ƒä½Žï¼Œå› äØ“äººå‡ºæ±—ä»¥åŽï¼Œå¯¹äñ”å“å°†æœ‰æ±¡æŸ“ï¼Œç‰¹åˆ«æ˜¯æ€•é’ çš„åŠå¯ég½“车间åQŒè¿™¿UèžR间温度ä¸å®œè¶…˜q?5度,湿度˜q‡é«˜äº§ç”Ÿçš„问题更多。相å¯Ò޹¿åº¦è¶…˜q?5%æ—Óž¼Œå†·å´æ°´ç®¡å£ä¸Šä¼šç»“éœÔŒ¼Œå¦‚æžœå‘生在精密装¾|®æˆ–电èµ\ä¸ï¼Œž®×ƒ¼šå¼•è“vå„ç§äº‹æ•…。相å¯Ò޹¿åº¦åœ¨50%时易生锈。æ¤å¤–,湿度太高时将通过½Iºæ°”ä¸çš„æ°´åˆ†å把¼‹…片表颾_˜ç€çš„ç°ž®˜åŒ–å¦å¸é™„在表é¢éš¾ä»¥æ¸…除。相å¯Ò޹¿åº¦è¶Šé«?¾_˜é™„的越隑֎»æŽ‰ï¼Œä½†å½“相对湿度低于30%æ—Óž¼Œåˆç”±äºŽé™ç”µåŠ›çš„ä½œç”¨ä‹É¾_’å也容易å¸é™„于表é¢åQŒåŒæ—¶å¤§é‡åŠå¯ég½“器äšgå®ÒŽ˜“å‘生å‡È©¿ã€‚对于硅片生产最ä½Ïx¹¿åº¦èŒƒå›´äØ“35â€?5%ã€?br />
气压规定
对于大部分æ´å‡€½Iºé—´åQŒäؓ了防æ¢å¤–界污染äçR入,需è¦ä¿æŒå†…部的压力åQˆé™åŽ‹ï¼‰é«˜äºŽå¤–éƒ¨çš„åŽ‹åŠ›ï¼ˆé™åŽ‹åQ‰ã€‚压力差的维æŒä¸€èˆ¬åº”½W¦åˆä»¥ä¸‹åŽŸåˆ™åQ?br />
1åQŽæ´å‡€½Iºé—´çš„压力è¦é«˜äºŽéžæ´å‡€½Iºé—´çš„压力ã€?br />
2.‹z净度çñ”别高的空间的压力è¦é«˜äºŽç›¸é‚Èš„‹z净度çñ”别低的空间的压力ã€?br />
压力差的¾l´æŒä¾é 新风é‡ï¼Œ˜q™ä¸ªæ–°é£Žé‡è¦èƒ½è¡¥å¿åœ¨˜q™ä¸€åŽ‹åŠ›å·®ä¸‹ä»Žç¼éš™æ¼æ³„æŽ‰çš„é£Žé‡ã€‚æ‰€ä»¥åŽ‹åŠ›å·®çš„ç‰©ç†æ„ä¹‰å°±æ˜¯æ¼æ³„(或渗é€ï¼‰é£Žé‡é€šè¿‡‹z净室的å„ç§¾~隙时的é˜ÕdŠ›ã€?br />
‹z净室ä¸çš„æ°”‹¹é€Ÿåº¦è§„定
˜q™é‡Œè¦è®¨è®ºçš„æ°”æµé€Ÿåº¦æ˜¯æŒ‡‹z净室内的气‹¹é€Ÿåº¦åQŒåœ¨å…¶ä»–‹z净½Iºé—´ä¸çš„æ°”æµé€Ÿåº¦åœ¨è®¨è®ºå…·ä½“设备时å†è¯´æ˜Žã€?br />
对于乱测z净å®?ç”׃ºŽä¸ÖM¸»è¦é ½Iºæ°”的稀释作用æ¥å‡è½»å®¤å†…污染的程度,所以主è¦ç”¨æ¢æ°”‹Æ¡æ•°˜q™ä¸€æ¦‚念åQŒè€Œä¸ç›´æŽ¥ç”¨é€Ÿåº¦çš„æ¦‚念,ä¸è¿‡å¯¹å®¤å†…æ°”‹¹é€Ÿåº¦ä¹Ÿæœ‰å¦‚ä¸‹è¦æ±‚åQ?br />
(1)é€é£Žå£å‡ºå£æ°”‹¹é€Ÿåº¦ä¸å®œå¤ªå¤§åQŒå’Œå•纯½Iø™°ƒæˆ‰K—´ç›¸æ¯”åQŒè¦æ±‚é€Ÿåº¦è¡°å‡æ›´å¿«åQŒæ‰©æ•£è§’度更大ã€?br />
(2)å¹è¿‡æ°´åã^é¢çš„æ°”æµé€Ÿåº¦åQˆä¾‹å¦‚侧逿—¶å›žæµé€Ÿåº¦åQ‰ä¸å®œå¤ªå¤§ï¼Œä»¥å…å¹è“v表é¢å¾®ç²’é‡è¿”æ°”æµåQŒè€Œé€ æˆå†æ±¡æŸ“,˜q™ä¸€é€Ÿåº¦ä¸€èˆ¬ä¸å®œå¤§òq?.2m/sã€?br />
对于òqŒ™¡Œ‹¹æ´å‡€å®¤ã€Šä¹ 惯上¿U°å±‚‹¹æ´å‡€å®¤ï¼Œç”׃ºŽä¸»è¦é æ°”‹¹çš„“活塞打挤压作用排除行染åQŒæ‰€ä»¥æˆªé¢ä¸Šçš„速度ž®±æ˜¯éžå¸¸é‡è¦çš„æŒ‡æ ‡ã€‚过去都å‚考美å›?0gBæ ‡å‡†åQŒé‡‡ç”?.45m/såQŽä½†äºÞZ»¬ä¹Ÿéƒ½äº†è§£åˆ°è¿™æ ·å¤§é€Ÿåº¦æ‰€éœ€è¦çš„é€šé£Žé‡æ˜¯æžå¤§çš„,ä¸ÞZº†èŠ‚èƒ½åQŒä¹Ÿéƒ½åœ¨æŽ¢æ±‚é™ä½Žé£Žé€Ÿçš„å¯è¡Œæ€§ã€?br />
在我国,《空气æ´å‡€æŠ€æœ¯æŽªæ–½ã€‹å’Œ(‹z净厂房设计规范åQ‰éƒ½æ˜¯è¿™æ ¯‚§„定的
垂直òqŒ™¡Œ‹¹ï¼ˆå±‚æµåQ‰æ´å‡€å®¤â‰¥0.25m/s
æ°´åã^òqŒ™¡Œ‹¹ï¼ˆå±‚æµåQ‰æ´å‡€å®¤â‰¥0.35 m/s
噪声控制
‹zå‡€å®¤å™ªå£°æ ‡å‡†ä¸€èˆ¬å‡ä¸¥äºŽä¿æŠ¤å¥åº·çš„æ ‡å‡†ï¼Œç›®çš„在于ä¿éšœæ“ä½œæ£å¸¸˜q›è¡ŒåQŒæ»¡‘›_¿…è¦çš„è°ˆè¯è”ç³»åŠå®‰å…¨èˆ’é€‚çš„å·¥ä½œçŽ¯å¢ƒã€‚å› æ¤è¡¡é‡æ´å‡€å®¤çš„å™ªå£°ä¸»è¦æŒ‡æ ‡æ˜¯ï¼š
1åQŽçƒ¦æ¼çš„æ•ˆåº”
ç”׃ºŽå™ªå£°åQŒä‹É人感åˆîC¸å®‰å®è€Œäñ”ç”Ÿçƒ¦æ¼æƒ…¾lªï¼Œä¸€èˆ¬åˆ†ä¸ºæžå®‰é™ã€å¾ˆå®‰é™ã€è¾ƒå®‰é™ã€ç¨å«Œåµé—¹ï¼Œæ¯”较åµé—¹å’Œæžåµé—¹7个烦æ¼ç‰¾U§ã€‚凡å应水åã^属于很åµé—¹å’Œæžåµé—¹è€…,å³äؓ高烦æû|¼Œé«˜çƒ¦æégh数在æ€ÖMhæ•îC¸çš„百分比å³äؓ高烦æ¼çއã€?br />
2åQŽå¯¹å·¥ä½œæ•ˆçŽ‡çš„åª„å“?br />
˜q™ä¸»è¦çœ‹ä¸‰æ–¹é¢çš„å应水åã^åQŒè¿™ä¸‰ä¸ªæ–šw¢æ˜¯ï¼šé›†ä¸¾_„¡¥žåQŒåŠ¨ä½œå‡†¼‹®æ€§ï¼Œå·¥ä½œé€Ÿåº¦åQ?br />
3åQŽå¯¹¾l¼åˆé€šè®¯çš„å¹²æ‰?br />
˜q™ä¸»è¦åˆ†ä¸ºï¼šæ¸…楚或满æ„,½E困难,困难åQŒä¸å¯èƒ½
对以上三斚w¢æŒ‡æ ‡éƒ½ç”¨A声çñ”æ¥è¯„ä»—÷€‚在50òq´ä»£æ›¾æå‡ºç”¨ä¸€æ¡é¢‘谱曲¾U¿ä½œä¸ø™¯„ä»äh ‡å‡†å³å„频带ä¸å¿ƒé¢‘率的声压¾U§ä¸å¾—è¶…˜q‡è¯¥æ›²çº¿ã€‚åŽæ¥äº†è§£åˆ°åˆ·A½{‰çñ”æ¥è®¡é‡å™ªå£îC¸Žå™ªå£°çš„è¯éŸ›_¹²æ‰°å’Œçƒ¦æ¼½E‹åº¦æ›´äØ“å°é€‚,å¯ä»¥ä»£æ›¿å€é¢‘带声压çñ”ä½œäØ“è¯„ähæ ‡å‡†çš„æŒ‡æ ‡ã€?br />
呿œ‰å¾ˆé«˜çš„è¦æ±‚。这里有必è¦å…ˆè¯´æ˜Žä¸€ä¸‹æ— ½H—æ´å‡€å®¤çš„照明方å¼åQ?br />
(1)一般照�br />
它指ä¸è€ƒè™‘ç‰ÒŽ®Šçš„局部需è¦ï¼Œä¸ºç…§äº®æ•´ä¸ªè¢«ç…§é¢¿U¯è€Œè®¾¾|®çš„照明ã€?br />
(2)局部照�br />
˜q™æ˜¯æŒ‡äØ“å¢žåŠ æŸä¸€æŒ‡å®šåœ°ç‚¹åQˆå¦‚工作点)的照度而设¾|®çš„照明。但在室内照明由一般ä¸å•独使用局部照明ã€?br />
(3)æ··åˆç…§æ˜Ž
˜q™æ˜¯æŒ‡å·¥ä½œé¢ä¸Šçš„照度ç”׃¸€èˆ¬ç…§æ˜Žå’Œå±€éƒ¨ç…§æ˜Žåˆæˆçš„照明åQŒå…¶ä¸ä¸€èˆ¬ç…§æ˜Žçš„照度按《æ´å‡€åŽ‚æˆ¿è®¾è®¡è§„èŒƒã€‹åº”å æ€È…§åº¦çš„10%â€?5%åQŒä½†ä¸ä½Žòq?50LXã€?å•ä½è¢«ç…§é¢ç§¯ä¸ŠæŽ¥å—的光通é‡åÏx˜¯ç…§æ˜Žå•ä½å‹’å…‹æ–?LX)ã€?br />
国外‹zå‡€å®¤çš„å¼ºåº¦è¦æ±‚æžé«˜åQŒä¾‹å¦‚美国关于æ´å‡€å®¤çš„å‡ ä¸ªæ ‡å‡†çš„è¦æ±‚是åQ?br />
人工å…?00lx有较好的效果åQŒå½“å·¥äšg¾_„¡»†½E‹åº¦æ›´é«˜æ—Óž¼Œ500x也是å…许的。对于覾U¢ç¯ç…§æ˜Žçš„地方,如电å行业的光刻车间åQŒå…¶ç…§åº¦ä¸€èˆ¬äØ“(25â€?01x)åQ?br />
用天然光时å¯å…è®¸æ›´é«˜çš„ç…§åº¦ï¼Œå› è€Œå¯¹å·¥ä½œæ˜¯æœ‰åˆ©çš„åQŒæ‰€ä»¥ä»ŠåŽæ´å‡€å®¤çš„照明既采用äh工光也采用天然光å¯èƒ½æ˜¯æœ‰å‰é€”çš„åQŒè¿™ä¹Ÿæ˜¯ä¸ÞZº†èŠ‚èƒ½è€Œå‡ºçŽ°çš„ä¸€¿U动å‘ã€?br />
防é™ç”?br />
‹z净室ä¸ç”׃ºŽé™ç”µå¼•è“v的的事故屡有å‘生åQŒå› æ¤æ´å‡€å®¤çš„防é™ç”µèƒ½åЛ如何已æˆäؓ评ähå…¶è´¨é‡çš„一个ä¸å¯å¿½è§†çš„æ–šw¢ã€?br />
所谓é™ç”µï¼Œæ˜¯ç”±äºŽæ‘©æ“¦ç‰åŽŸå› ç ´åäº†ç‰©ä½“ä¸æ?+)è´?lt;一åQ‰ç”µèïL‰é‡çš„å‡åŒ€çš„ç”µä¸æ€§çжæ€ï¼Œè€Œä‹É电跘q‡å‰©åQŒç‰©ä½“呈带电状æ€ï¼Œç”׃ºŽ˜q™äº›ç”µè·òqÏx—¶æ˜¯ä¸‹¹åŠ¨çš„ï¼Œæ•…ç§°é™ç”µã€?br />
在æ´å‡€å®¤å†…é™ç”µå¯ÆD‡´çš„äº‹æ•…æœ‰ä»¥ä¸‹å‡ æ–¹é¢ï¼›
1åQŽé™ç”는µå¼•è“vçš„é™ç”는µå‡»ï¼Œå¼•è“v人的ä¸å®‰å…¨å’Œææƒ§æ„Ÿï¼Œòq¶å¯é€ æˆäºŒæ¬¡ä¼¤å®³(ä¾‹å¦‚äººå› å—电击而摔倒,由摔倒åˆè‡´ä¼¤)åQ?br />
2åQŽé™ç”‰|”¾ç”µå¼•èµïLš„æ”„¡”µç”‰|µåQŒå¯å¯ÆD‡´è¯¸å¦‚åŠå¯¼ä½“元件ç‰ç ´å和误动作åQŒä¾‹å¦‚å°†50å—P- MOS电èµ\攑֜¨å¡‘料袋内åQŒæ‘‡æ™ƒæ•°‹Æ¡åŽåQŒä¸Žéžé—¨æ …æžä¸¥é‡å‡È©¿è€…计39å—,失效率竞è¾?8%åQŒè¿™æ˜¯å› 为åŠå¯ég½“器äšg寚w™ç”‰|”¾ç”µååˆ†çµæ•ï¼›
3åQŽé™ç”‰|”¾ç”µäñ”生的ç”늣波å¯å¯ÆD‡´ç”µå仪器和装¾|®çš„æ‚éŸ³å’Œè¯¯åŠ¨ä½œåQ?br />
4åQŽé™ç”‰|”¾ç”늚„å‘å…‰å¯å¯¼è‡´ç…§ç›¸è‚¢ç‰‡ç‰æ„Ÿå…‰ç ´ååQ?br />
5åQŽé™ç”늚„力å¦çŽ°è±¡å¯å¯¼è‡´ç›å”被¾_‰å°˜å µå¡žåQŒçh¾UÞqº¿¾U·äØ•åQŒå°åˆ·å“深浅ä¸å‡å’Œåˆ¶å“污染;
é™ç”µäº‹æ•…çš„äñ”生主è¦åœ¨äºŽé™ç”늚„产生和积累,而气‹¹çš„‹¹åŠ¨åQŒæ°”‹¹å’Œ½Ž¡é“ã€é£Žå£ã€è¿‡æ»¤å™¨½{‰æ‘©æ“¦ï¼ŒäºÞZ½“和衣æœçš„æ‘©æ“¦åQŒè¡£æœä¹‹é—´çš„æ‘©æ“¦åQŒå·¥è‰ÞZ¸Šçš„ç ”¼‚¨ï¼Œå–äh¶‚ã€å°„‹¹ã€æ´—æ¶¤ã€æ…拌ã€ç²˜åˆå’Œå‰¥ç¦»½{‰æ“作,所有选些都å¯èƒ½äñ”生é™ç”µï¼Œåœ¨ä¸€èˆ¬æƒ…况下åQŒè¶Šæ˜¯ç”µå¯¼çއž®çš„éžå¯¼ä½“(¾l缘体)åQŒç”±äºŽç”µè·äñ”生åŽä¸æ˜“‹¹åЍåQŒå› æ¤è¡¨çŽîCØ“‘Šå®¹æ˜“带ç”üc€?br />
é™ç”µé—®é¢˜æ‰€ä»¥åœ¨‹z净室ä¸ç‰¹åˆ«ä¸¥é‡åQŒæ˜¯å› 䨓ä¸ä½†åœ¨æ´å‡€å®¤ä¸å…·å¤‡å‰è¿°äº§ç”Ÿé™ç”µçš„多¿Uå·¥è‰ºå› ç´ ï¼Œè€Œä¸”å› äØ“‹z净室ä¸çš„è®¸å¤šææ–™å¦‚塑料地é¢ã€å¢™é¢ï¼Œž®¼é¾™ã€çš„¼‹®è‰¯½{‰å·¥ä½œæœéƒ½æœ‰å¾ˆé«˜çš„电é˜ÈއåQŒéƒ½æžæ˜“产生é™ç”µå’Œé›†èšé™ç”µï¼Œåœ¨æ´å‡€å®¤çš„é™ç”µç‘Ö®³æœªè¢«é‡è§†ä»¥å‰åQŒè¿™äº›ææ–™æ–™æ˜¯è¢«òq¿æ³›é‡‡ç”¨çš„ã€?br />
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